溶液法铝诱导晶化制备多晶硅薄膜

• 作者: 孟志国 熊绍珍 王烁 罗翀
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 铝诱导晶化 多晶硅薄膜 溶液法
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 6560-6565
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.09.111

摘要

采用铝(Al)盐溶液作为诱导源进行了非晶硅晶化成多晶硅的研究.光学显微镜观测与Raman光谱分析表明,合适配比的铝盐溶液能够将非晶硅予以诱导晶化.采用剥层XPS测试分析,探究了Al盐溶液与硅表面可能的化学反应以及随之发生的硅-铝层交换的过程.最后对溶液法诱导晶化的机理进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊绍珍	南开大学光电子器件与技术研究所	63	380	12.0	18.0
2	罗翀	南开大学光电子器件与技术研究所	6	25	3.0	5.0
3	孟志国	南开大学光电子器件与技术研究所	26	145	6.0	11.0
4	王烁	南开大学光电子器件与技术研究所	9	6	1.0	2.0