硬质薄膜技术的最新发展

• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质薄膜 化学气相沉积 物理气相沉积 阴极电弧 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 4676字
• 语种: 中文

摘要

为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用.本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商.首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最后对国内相关产业的发展进行了介绍和总结,同时本文对硬质薄膜技术在我国未来的发展提出了展望.