变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试

• 作者: 刘楷 卢启鹏 吴坤 巩志华 彭忠琦 王勇 薛松 陈家华
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 变包含角平面光栅单色仪 光电自准直仪 转角重复精度 测量
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 同步辐射技术及应用
• 页码范围: 881-884
• 页数: 4页
• 分类号: TB922
• 字数: 2686字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2009.12.001

摘要

在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中,为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求,平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43".为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统,可以对平面镜和光栅机构进行测试.应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0.166",光栅转角重复精度为0.149",分辨率达到0.03",满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求.此外,还测量了光栅切换机构的重复精度.