大行程纳米级压电微动工作台的设计与试验研究

• 作者: 朱砂 李咏强 胡长德 赵美蓉 高娟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米定位 尺蠖运动 压电陶瓷 最小步距 大范围
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 803-807
• 页数: 5页
• 分类号: TM282
• 字数: 2853字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.06.009

摘要

介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级级平台式步距压电微动台.在结构设计方面.夹紧器和驱动器都采用压电陶瓷对称结构,配合夹紧器的夹紧、放松.驱动器伸长或缩短,实现推一拉接力运动,保证微动台运动的平稳性和连续性;采用平台式结构.增强了其实用性.驱动控制方面.配以适当的四路驱动信号.实现了压电微动台的单步、多步连续匀速运动.通过试验对微动台的性能进行了测试,结果表明:微动台的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为200V可达13.9μm/s,最小步距小于10 nm,行程大于20 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡长德	装备指挥技术学院士官系	18	101	5.0	9.0
2	赵美蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	97	969	15.0	26.0
3	李咏强	装备指挥技术学院士官系	10	41	4.0	6.0
4	高娟	装备指挥技术学院士官系	11	60	4.0	7.0
5	朱砂	装备指挥技术学院士官系	9	57	4.0	7.0