高温超导滤波器的光刻工艺

• 作者: 慕利娟 赵宏宇
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 物理学
• 关键词: 高温超导薄膜 滤波器 光刻
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: O51
• 字数: 2708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2009.03.009

摘要

根据高温超导薄膜的特点,详细讨论了制备高温超导滤波器的光刻技术及在制备的各环节中需注意的问题,实验结果表明:此种方法提高了制备的成功率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏宇	内蒙古科技大学数理与生物工程学院	39	136	6.0	10.0
2	慕利娟	内蒙古科技大学数理与生物工程学院	21	37	2.0	5.0