中国建筑材料科学研究总院石英玻璃专业的创建与发展

• 作者: 刘连城 王玉芬 顾真安
• 来源期刊: 建筑玻璃与工业玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 科学研究 建筑材料 半导体工业 光通信技术 中国 集成电路制造 玻璃光导纤维
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.731

摘要

石英玻璃以其特有的性能成为现代科技发展的重要基础材料。在特种电光源、半导体、光通信、激光、航天以及核技术领域都有广泛应用。例如，在半导体工业中从硅质原料合成提纯用石英塔、多晶、单晶硅生长用石英钟罩、石英坩埚以及集成电路制造用石英光掩膜基板、石英扩散炉管等整个工艺过程无一不用石英玻璃。在光通信技术中如果没有石英玻璃光导纤维就不可能有当今遍及全球的光纤网络和信息产业。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾真安		27	263	9.0	15.0
2	王玉芬		15	24	3.0	4.0
3	刘连城		2	0	0.0	0.0