基于压电陶瓷管扫描器的大范围纳米定位系统

• 作者: 孙鑫 张波 程传东 胡志强
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 样品移动平台 摩擦力和惯性 原子力显微镜 定位控制
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TH702|TH742
• 字数: 1929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2009.04.015

摘要

提出一种基于压电陶瓷管扫描器的X-Y二雏大范围纳米级定位系统,该系统利用摩擦力和惯性使样品产生步进式的微位移.阐述了该系统的设计和工作原理,并给出了它在原子力显微镜中用于探针一样品间的定位控制的应用实例,取得了理想效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张波	上海大学机电工程与自动化学院	18	59	4.0	7.0
2	孙鑫	上海大学机电工程与自动化学院	28	482	11.0	21.0
3	程传东	上海大学机电工程与自动化学院	2	14	1.0	2.0
4	胡志强		3	17	2.0	3.0