压电陶瓷快速响应特性与应用研究

• 作者: 王晓东 王涛 王立鼎
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 动态响应 MEMS 加速度
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 785-789
• 页数: 5页
• 分类号: TH825|O329
• 字数: 3003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.06.005

摘要

针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置,成功测试了几种MEMS微结构的谐振频率;利用其在极短响应时间内输出大加速度的特点,研究了压电陶瓷在大量程加速度传感器灵敏度测试上的应用,结果显示压电陶瓷瞬时输出最大加速度达上万gn.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓东	大连理工大学微系统研究中心	115	1141	19.0	28.0
2	王立鼎	大连理工大学微系统研究中心	130	1877	24.0	38.0
3	王涛	武汉科技大学机械自动化学院	55	306	9.0	15.0