一种新型三维敏感效应电容式SO_2气体传感器设计

• 作者: 张清锦 杨英 赵良 陈向东
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式 SO_2气体传感器 圆柱体单元 响应时间
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.07.022

摘要

传统气体传感器只能以简单一维扩散方式对气体响应,扩散机理是建立在表面效应基础上的.提出了一种新型电容式SO_2气体传感器.该传感器敏感结构由离散的微型圆柱体单元三维式扩散模型组成,模型上表面和侧面同时接触被测气体,扩大了与被测气体的接触面积.根据气敏薄膜的扩散响应理论,对传感器的响应时间作出分析,并与梳状电容式气体传感器特性相比较,说明新型传感器具有响应时间更短的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈向东	西南交通大学信息科学与技术学院	159	826	13.0	17.0
2	杨英	西南交通大学信息科学与技术学院	6	26	4.0	5.0
3	张清锦	西南交通大学信息科学与技术学院	2	7	2.0	2.0
4	赵良	西南交通大学信息科学与技术学院	3	14	3.0	3.0