非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用

• 作者: 李城钰 陈旭 齐京
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 非蒸散型吸气剂 微型 离子泵 小型真空器件
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 真空获得设备与系统
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TN605|TB741|TB752+.52
• 字数: 3217字
• 语种: 中文

摘要

为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG).在新建的微型离子泵性能测试系统上,研究了非蒸散型吸气剂对器件存储和微型离子泵启动特性的影响.模拟了微型离子泵与小型真空器件集成为一体时可能遇到不同气体负载时的实际情况,讨论了新结果的可能应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭	清华大学电子工程系	71	482	10.0	20.0
2	齐京	清华大学电子工程系	14	101	6.0	9.0
3	李城钰	清华大学电子工程系	1	1	1.0	1.0