透明导电薄膜(TCO)绒面制作技术综述

• 作者: 钟铁涛
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 绒面 TCO 透明导电薄膜 非晶硅 微晶硅 脉冲磁控溅射 半导体薄膜 衬底温度 可见光范围 溶胶一凝
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TQ596

摘要

综述了透明导电薄膜(TCO)绒面制作的最新发展和研究现状,对各种绒面制备方法作了系统的介绍和评估,并从材料、工艺与性能等方面分析了它们的优势和不足之处,最后对业界概况、ZnO存在的问题及发展方向进行了讨论和预测。

作者信息

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1	钟铁涛		1	0	0.0	0.0