基于粗对准与精对准信号分开探测的对准系统

• 作者: 宋海军 徐荣伟 李运锋 韦学志
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 对准系统 相位光栅 信号拟合 粗对准 精对准
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2009.06.016

摘要

提出了一种用于光刻装置的对准系统.该对准系统所用的标记包含多个相位子光栅.其中,标记±1级衍射光的光强信息用于产生粗对准信号.在粗对准信号上,通过峰值检测和信号拟合获得最大峰值点,该峰值点即为粗对准位置.同时,在另一光路中,精细子光栅的±1级衍射光的光强信息用于产生精对准信号.利用余弦或正弦曲线对该精对准信号进行拟合,得到一系列的波峰点.距离粗对准位置最近的波峰点即为精对准位置.当精细子光栅的周期足够小时,该对准系统可获得5 nm级的重复精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李运锋		2	1	1.0	1.0
2	韦学志		2	1	1.0	1.0
3	宋海军		2	1	1.0	1.0
4	徐荣伟		1	0	0.0	0.0