太阳能电池单晶Si表面织构化的工艺改进

• 作者: 刘玉岭 孙增标 张研 檀柏梅 申晓宁 闫宝华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 太阳电池 电化学清洗 绒面 各向异性腐蚀 转换效率
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 695-699
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.2|TM914.4
• 字数: 3508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.11.011

摘要

通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对(100)晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na,PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制绒前Si片的电化学清洗过程和混合溶液的反应温度和反应时间等参数的变化对金字塔绒面微观形貌的影响做了分析.最终通过大量实验得到,用质量分数为4%的Na2SiO3和2%的Na3PO4混合溶液在78℃腐蚀60 min,单晶Si片表面可获得最佳反射率为11.98%的减反射绒面.单晶Si片表面的反射率优于单独使用Na2SiO3溶液腐蚀,更重要的是制得了很好的均匀性表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	檀柏梅	河北工业大学微电子研究所	85	534	13.0	18.0
2	刘玉岭	河北工业大学微电子研究所	263	1540	17.0	22.0
3	孙增标	河北工业大学微电子研究所	2	23	2.0	2.0
4	闫宝华	河北工业大学微电子研究所	2	23	2.0	2.0
5	张研	河北工业大学微电子研究所	5	36	3.0	5.0
6	申晓宁	河北工业大学微电子研究所	3	27	2.0	3.0