基于DMD微光刻的导光板模板的制作方法

• 作者: 周小红 朱冀梁 李晓建 申溯 陈林森
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 数字微反射镜 导光板 微光刻制
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 光学元件与制造
• 页码范围: 669-673
• 页数: 5页
• 分类号: TN249|TN27
• 字数: 2334字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2009.04.028

摘要

提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法.导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚度仅为0.381 mm.采用自行研制的SVGwriting-DMD激光直写系统,图形的最小分辨率为2 μm,DMD微光刻法无需掩膜版,可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布,便于大幅面的导光板模板的制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	周小红	苏州大学信息光学工程研究所	11	94	5.0	9.0
3	申溯	苏州大学信息光学工程研究所	18	42	4.0	6.0
4	李晓建	苏州大学信息光学工程研究所	2	9	2.0	2.0
5	朱冀梁	苏州大学信息光学工程研究所	2	9	2.0	2.0