二氧化铪(HfO2)功能陶瓷薄膜的自组装制备

• 作者: 刘剑 夏傲 娄晶晶 苗鸿雁 谈国强 贺中亮
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 自组装单层膜 HfO2
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 107-108,111
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TQ134.1
• 字数: 1724字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2009.01.030

摘要

利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长十八烷基三氯硅烷(OTS)单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.研究了紫外光照射对OTS单分子层的影响,通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出HfO2晶态薄膜,呈立方型的HfO2,无其它杂相,薄膜表面均一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苗鸿雁	陕西科技大学材料科学与工程学院	99	732	13.0	20.0
2	谈国强	陕西科技大学材料科学与工程学院	107	640	12.0	18.0
3	贺中亮	陕西科技大学材料科学与工程学院	16	67	6.0	7.0
4	刘剑	陕西科技大学材料科学与工程学院	16	55	5.0	7.0
5	夏傲	陕西科技大学材料科学与工程学院	61	325	9.0	14.0
6	娄晶晶	河南大学法学院	3	16	2.0	3.0