金刚石涂层的纳米压痕力学性能研究

• 作者: 任卫涛 卢文壮 左敦稳 徐锋 杨春 王珉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 涂层 纳米硬度 弹性模量
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 159-164
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 3182字
• 语种: 中文

摘要

用HFCVD法在硬质合金刀具上制备了CVD金刚石涂层,利用纳米压痕仪研究了CVD金刚石涂层的硬度和弹性模量等力学性能.结果表明,反应室气压、衬底温度、反应气体中CH4含量、沉积时间等参数改变了CVD金刚石膜中sp2成分含量、晶界数量及晶界上缺陷,从而影响CVD金刚石涂层的纳米硬度和弹性模量.较高或较低的衬底温度都会导致硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量降低;随着反应室气压、反应气体中CH4含量的增加,硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量降低;沉积时间低于6 h时,沉积时间对硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量影响显著,沉积时间超过6 h后,沉积时间对硬质合金刀具上CVD金刚石涂层的纳米硬度、弹性模量逐渐趋向稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨春	南京航空航天大学机电学院	11	116	6.0	10.0
2	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
6	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
7	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
8	任卫涛	南京航空航天大学机电学院	5	34	3.0	5.0
9	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0