平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究

• 作者: 冯书谊 向毅 周勇 周志敏
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 平面磁芯螺旋结构微电感 MEMS技术 电感量 品质因数
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TM55
• 字数: 1738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.02.015

摘要

采用MEMS技术(包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等)研制了平面磁芯螺旋结构微电感,磁芯材料为铁基纳米晶带材.其中线圈匝数为18匝,线圈导体的宽度和间隙均为30 μm,厚度为20 μm;电感的尺寸为3 mm×3 mm.测试结果表明:在频率为1～10 MHz时,电感量和品质因数分别为3.2～1.2 μH和2.3～1.1;在1 MHz下,电感量和品质因数分别为3.2 μH和2.3,可应用于微型化DC/DC变换器.