非极性GaN用r面蓝宝石衬底

• 作者: 周国清 徐军 李红军 杨新波 毕群玉 程艳 苏良碧
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: r面蓝宝石 非极性GaN 衬底
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 783-786
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2009.00783

摘要

采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec;位错密度为5.6×103cm-2,波长大于300nm时的平均透过率大于80%;光学均匀性△n=6.6×10-5;平均表面粗糙度为0.49nm.结果表明,温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高,达到了GaN外延衬底的标准.