电极材料对集成式谐振器力敏特性的影响

• 作者: 田双 田文杰 邹淑芳 霍静
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 集成式谐振器 力敏特性 电极材料
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: O765|TH703.2
• 字数: 3566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.02.012

摘要

设计制作了同一晶片上的集成三电极的谐振器.研究了这种谐振器的力敏特性与加力方位、电极材料的关系.并对电极材料分别为Au、Al的谐振器进行了比较实验.结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关,加力方位与x轴夹角ψ为0°时,力敏系数最大;电极材料通过对石英晶体谐振器有效机电耦合系数的影响,进而影响谐振器的力-频特性.集成式谐振器在相同加力方位时,镀Au电极比Al电极的力敏系数最大可高出189.8 Hz/N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田文杰	北京信息科技大学传感器重点实验室	37	158	6.0	11.0
2	邹淑芳		16	30	3.0	4.0
3	霍静	北京信息科技大学传感器重点实验室	4	13	3.0	3.0
4	田双	北京信息科技大学传感器重点实验室	4	13	3.0	3.0