氨气中水份脱除工艺研究

• 作者: 尹泉生 张文波 颜庭勇
• 来源期刊: 气体分离
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯氨 脱水 问题解决 稳定运行
• 年，卷（期）: qtfl_2009,（5）
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TQ113.266

摘要

高纯氨是电子工业中氮化膜的成膜气体,已经在半导体,液晶面板,氮化镓系LED生产中得到广泛应用;在多晶硅太阳能电池领域的高纯氨的应用也在不断增加。针对NH3中的水份脱除工艺研究,对于气态氨在脱水过程中出现的各种复杂问题解决,确保设备长期稳定运行,纯氨含水量小于1PPm以下。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文波		14	36	4.0	6.0
2	颜庭勇		8	0	0.0	0.0
3	尹泉生		10	4	1.0	2.0