光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统

• 作者: 何晓业 佟亚军 王秋平 肖体乔 赵屹东 郑雷
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线位移 测量和标定 光栅单色器
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 同步辐射技术及应用
• 页码范围: 321-325
• 页数: 5页
• 分类号: TP206.1|TH744.1
• 字数: 3080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2009.05.001

摘要

在同步辐射光束线建设中,为达到单色器的光谱分辨率要求,对波长扫描机构的定位精度要求在μm量级.我们建立的由激光干涉仪、自准直仪组成的直线位移测试系统,可以对直线位移机构进行测试并对机构的直线位移编码器进行标定.该系统不但实现了直线位移的精密测量,还能对机构的直线性进行测量.应用该系统测出位移范围为160 mm的直线位移机构的重复精度为1.0×10-3mm,分辨率达75×105mm,对光栅尺的标定精度达到RMS=3.0×10-4mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖体乔	中国科学院上海应用物理研究所	64	403	11.0	17.0
2	郑雷	中国科学院北京高能物理研究所	22	58	4.0	6.0
3	赵屹东	中国科学院北京高能物理研究所	39	144	7.0	9.0
4	王秋平	中国科技大学国家同步辐射实验室	3	22	3.0	3.0
5	佟亚军	中国科学院上海应用物理研究所	9	14	2.0	3.0
6	何晓业	中国科技大学国家同步辐射实验室	1	4	1.0	1.0