预测控制的鲁棒性改进及其在晶体炉中的应用

• 作者: 季海波 王刚
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 内模控制 广义预测控制 鲁棒性 多温区晶体生长炉
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9944.2009.05.006

摘要

将引入失配滤波器的基于内模控制结构的广义预测控制纳入一般内模控制框架,设计满足稳定鲁棒性和品质鲁棒性的滤波器,改进了预测控制的鲁棒性.将该方法应用于多温区晶体生长晶体炉的温度控制仿真实验,研究了它的控制精度和鲁棒性.结果表明,该方法具有较好的控制精度和较强的鲁棒性,为将该方法应用于晶体生长炉的温度控制做了必要准备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚	中国科学技术大学自动化系	164	1405	19.0	32.0
2	季海波	中国科学技术大学自动化系	72	432	12.0	16.0