籽晶辅助化学水浴沉积法制备ZnO纳米棒阵列

• 作者: 张辉 杨德仁 潘景伟 马向阳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO 纳米阵列 籽晶辅助化学水浴沉积法 扫描电子显微镜 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1304-1308
• 页数: 5页
• 分类号: O649
• 字数: 2602字
• 语种: 中文

摘要

采用籽晶辅助化学水浴沉积法,即先用磁控溅射法在硅片上制备c轴取向的ZnO薄膜,以此作为籽晶层,利用化学水浴沉积法制备ZnO纳米棒阵列.利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD),研究了ZnO薄膜籽晶层的沉积温度、水浴温度和前驱体溶液中Zn源的初始浓度等对ZnO纳米棒阵列生长的影响,由此得到了结晶性好且几乎垂直于衬底方向的ZnO纳米棒阵列的生长条件,为制备基于ZnO纳米棒阵列的器件提供了条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉	浙江大学硅材料国家重点实验室	84	923	18.0	26.0
2	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
3	马向阳	浙江大学硅材料国家重点实验室	60	404	10.0	17.0
4	潘景伟	浙江大学硅材料国家重点实验室	1	16	1.0	1.0