蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜

• 作者: 仇满德 付跃举 刘保亭 周阳 彭英才 邢金柱 霍骥川
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 射频磁控溅射 外延生长
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 74-78
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2811字
• 语种: 中文

摘要

在室温条件下,采用磁控溅射方法在蓝宝石(0001)衬底上制备了外延的ZnO薄膜.采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外分光光度计系统研究了ZnO薄膜微观结构和光学特性.AFM测量结果表明ZnO薄膜具有较为均匀的ZnO晶粒,表面平整,具有较小的均方根粗糙度(0.9 nm);X射线衍射结果表明制备的ZnO薄膜为具有六角纤锌矿结构的外延薄膜;光学透射谱显示样品在可见光范围内具有较高的透过性,并在370 nm附近出现一个较陡的吸收边,表明在室温下制备出了具有较高质量的ZnO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	彭英才	河北大学电子信息工程学院	103	593	12.0	19.0
3	周阳	河北大学物理科学与技术学院	21	130	7.0	11.0
4	霍骥川	河北大学物理科学与技术学院	3	12	1.0	3.0
5	仇满德	河北大学化学与环境科学学院	51	302	10.0	14.0
6	付跃举	河北大学物理科学与技术学院	8	15	2.0	3.0
7	邢金柱	河北大学物理科学与技术学院	2	12	1.0	2.0