用于探针存储系统的硅微静电驱动器的分析

• 作者: 丁建宁 凌智勇 宋向前
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 静电驱动 微XY平台 相变探针存储
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 50-52,56
• 页数: 4页
• 分类号: TB125
• 字数: 2741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2009.01.017

摘要

静电驱动的微XY平台、微探针阵列及具有超高密度存储功能的记录介质相结合的高密度数据存储技术是目前的研究热点.该文提出并设计了用于相变探针存储系统的微型静电驱动器,其具有面积为12 mm×12 mm的中央XY平台和100μm的静态位移,平台上相变存储介质的面积定为6.4 mm×6.4 mm,考虑分析了该驱动器的可靠性及机械干涉问题.分析表明,所设计的静电微驱动器的结构合理,各项参数可行,可满足相变探针存储系统的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌智勇	江苏大学微纳米科技研究中心	54	400	12.0	17.0
2	丁建宁	江苏大学微纳米科技研究中心	146	769	14.0	19.0
3	宋向前	江苏大学微纳米科技研究中心	4	11	2.0	3.0