多晶Si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究

• 作者: 刘玉岭 檀柏梅 牛新环 肖文明 边征
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅太阳电池 酸腐蚀 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅片制绒
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 627-631
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4|TN305.2
• 字数: 3238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.10.010

摘要

研究了采用HF和HNO3非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理.通过实验分析了酸混合液的体积浓度配比、添加剂、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响;总结出了多晶Si的酸腐蚀规律,得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比(V(HF):V(HNO3):V(CH3COOH)=1:12:6).在此基础上提出了优化设计方案:采用廉价的水代替醋酸作为缓蚀剂,腐蚀过程置于超声槽中进行,利用超声波的振动使反应生成的气泡快速脱离多晶Si片表面,同时使腐蚀液浓度分布更加均匀,从而制备出效果更佳的多晶Si绒面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	檀柏梅	河北工业大学微电子研究所	85	534	13.0	18.0
2	刘玉岭	河北工业大学微电子研究所	263	1540	17.0	22.0
3	牛新环	河北工业大学微电子研究所	69	406	10.0	17.0
4	肖文明	河北工业大学微电子研究所	4	43	3.0	4.0
5	边征	河北工业大学微电子研究所	2	27	2.0	2.0