划痕法综合评定膜基结合力

• 作者: 刘正义 曾德长 瞿全炎 邱万奇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 划痕试验 结合力 综合评定WC-Co/TiN
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 184-187
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 3350字
• 语种: 中文

摘要

用划痕实验探索了综合表征膜基结合力的方法.在瑞士CSM仪器的微划痕测试仪(Micro-Scratch Tester,MST划痕仪)对真空多弧离子镀设备制备的WC-Co/TiN膜基结合力进行划痕实验,系统地介绍了如何利用MST划痕仪所测的声发射数据、摩擦力数据及光学、电子扫描划痕形貌来综合评定膜基结合力,并用WS-92划痕仪对评定结果进行验证.评定结果表明,单一的声发射图谱或摩擦力曲线不能准确判定膜基结合力的表征值临界载荷,声发射图谱、摩擦力曲线与划痕形貌综合评定临界载荷结果才可信.WS-92划痕仪测量的结果验证了MST划痕仪评定结果的准确性.