基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制

• 作者: 崔千红 杨子健 杨建红 王敬松 韦波
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 聚酰亚胺 平行板电容 CMOS工艺 响应时间
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 集成电路设计与开发
• 页码范围: 385-388
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2009.04.021

摘要

在国内外湿度传感器研究的基础上,基于Si CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺(PI)为感湿介质的电容型相对湿度传感器.并对其结构进行了理论分析,仔细确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计.对其测量范围、湿滞和响应时间等特性参数进行了详细的测试.通过实验结果与模拟结果的对比分析,给出了该实验中存在的问题和改进意见,以便在今后的研究中加强这方面的工作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨子健	兰州大学物理学院	5	23	3.0	4.0
2	韦波	兰州大学物理学院	3	11	2.0	3.0
3	王敬松	兰州大学物理学院	3	13	2.0	3.0
4	崔千红	兰州大学物理学院	3	11	2.0	3.0
5	杨建红	兰州大学物理学院	44	143	6.0	9.0