X荧光光谱在溅射工艺研究中的应用

• 作者: 李光平 董彦辉 郑庆瑜
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: X荧光光谱 镍电极 溅射工艺
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2009.04.004

摘要

本文结合X荧光光谱讨论半导体材料镍欧姆接触电极的溅射工艺,形成的工艺流程短、效率高,方便获得更好的欧姆接触.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董彦辉	中国电子科技集团公司第四十六研究所	8	10	2.0	3.0
2	李光平	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	7	2.0	2.0
3	郑庆瑜	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	9	2.0	3.0