柔性MEMS衬底材料及其在传感器上的应用

• 作者: 刘辉 吴丰顺 吴懿平 周龙早 郑湃
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性衬底 有机聚合物 不锈钢 氧化铝 微传感器
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 604-609
• 页数: 6页
• 分类号: TH704|TP212
• 字数: 4314字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.10.006

摘要

概述了MEMS器件衬底材料的功用及分类(刚性材料和柔性材料).根据其使用柔性衬底材料的不同,将其分为有机聚合物材料(聚酰亚胺、硅橡胶、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚对二甲苯、硅树脂)和金属及陶瓷材料(不锈钢和氧化铝).重点阐述了材料的特性,并结合国内外专家学者的研究,例举了其在MEMS传感器方面的应用.分析了它们的特点及优越性.指出在MEMS器件衬底材料领域,对柔性材料和新型Si基材料的研究与开发是未来研究工作的重点和热点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴懿平	华中科技大学材料成形及模具国家重点实验室	79	771	16.0	24.0
3	吴丰顺	华中科技大学材料成形及模具国家重点实验室	70	604	15.0	21.0
5	刘辉	华中科技大学材料成形及模具国家重点实验室	52	318	10.0	15.0
6	周龙早	华中科技大学材料成形及模具国家重点实验室	32	429	14.0	20.0
11	郑湃	华中科技大学材料成形及模具国家重点实验室	1	8	1.0	1.0