移相干涉技术在活塞外径测量中应用

• 作者: 朱小平 杜华 王蔚晨
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 移相 干涉仪 活塞 直径
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 精密测量技术
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 3058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.020

摘要

基于传统接触式测长仪器存在不足,通过对长度干涉仪测量原理方法的分析研究,提出采用移相干涉技术进行瞄准定位的方法,并应用在活塞外径测量系统中.通过实验验证:采用双移相干涉测头结构的活塞外径测量系统,对活塞表面瞄准定位的重复性较好,活塞外径系统测量不确定度达到0.1μm,移相干涉在高精度基准活塞外径测量中成功应用,具有较好的推广价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱小平		29	142	6.0	11.0
2	杜华		33	201	8.0	12.0
3	王蔚晨		17	98	5.0	9.0