介观尺度铜膜力学行为尺度效应研究进展

• 作者: 丁向东 刘刚 孙军
• 来源期刊: 中国材料进展
• 学科: 工学
• 关键词: 金属薄膜 延性 疲劳 尺度效应 评价方法
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TG111
• 字数: 3969字
• 语种: 中文

摘要

以作者课胚组近期的研究结果为基础,以集成电路中互连线用金属Cu薄膜为模型材料,分别介绍了金属薄膜延性和疲劳寿命评价方法及相关测试结果的最新进展,讨论了介观尺度Cu薄膜力学性能的尺度效应,分析了薄膜材料中准静态力学性能对动态性能的影响,并简述了多场耦合对薄膜力学性能及变形行为的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙军	西安交通大学金属材料国家强度重点实验室	131	1148	18.0	28.0
2	刘刚	西安交通大学金属材料国家强度重点实验室	87	781	16.0	25.0
3	丁向东	西安交通大学金属材料国家强度重点实验室	20	152	7.0	12.0