薄膜折叠方法制作三维微纳米结构

• 作者: 王玉然
• 来源期刊: 电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 薄膜 自组装技术 应变驱动
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 80-81
• 页数: 2页
• 分类号: TP3
• 字数: 2400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0755.2009.10.029

摘要

微光机电系统(MOEMS)是当今技术领域的研究热点之一,无论在军事和商业领域都有广泛的应用.当前MOEMS的制作主要利用二维平面技术,由于二维平面制作技术已经接近物理极限,进一步在二维平面上提高器件密度的难度变得越来越大,充分利用三维空间提高器件的密度有很多优点.本文介绍一种利用品格失配的外延层自组装制作三维微纳米结构的方法,利用这种办法可以很方便地制作三维微纳米元件,并且在同一个衬底上进行自组装.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉然	曲阜师范大学图书馆	4	9	1.0	3.0