世界主要MBE设备制造商及产品简介

• 作者: 刘超 包兴明
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 分子束外延 半导体薄膜 MBE设备
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TN304

摘要

本文根据Riber、Veeco、DCA Instruments等著名公司的最新资料简要介绍了世界上主要分子束外延设备制造公司及其主流产品的基本情况，供国内相关领域的读者在了解和选购MBE产品时作参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘超	中国科学院半导体研究所	128	874	18.0	25.0
2	包兴明	四川理工学院理学院	23	29	3.0	4.0