厚度对室温沉积ZnO:Al薄膜光电特性的影响

• 作者: 刁训刚 孟超 康明生 曹晔 王文文 顾宝霞
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流磁控溅射 ZnO Al薄膜 透明导电薄膜 光电特性
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 855-859
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2009.06.018

摘要

利用直流磁控溅射法, 在室温玻璃衬底上制备了具有良好附着性的多晶ZnO∶ Al(ZAO)薄膜. 比较了室温下获得的薄膜与衬底加热条件下所得薄膜的结晶程度, 研究了厚度对室温条件下制备的ZAO薄膜表面形貌、电学性能及紫外-可见-近红外光区透光性的影响. 结果表明, 室温条件下制备的ZAO薄膜也具有(002)面择优取向, 随着膜厚的增加薄膜晶粒化程度提高, 载流子浓度和迁移率增大, 电阻率下降, 薄膜在紫外光区的吸收边发生红移, 在可见光区的平均透过率降低, 在近红外光区的透过率随厚度的增加而减小. 厚度为1200 nm的ZAO薄膜具有最佳光电综合性能, 其电阻率为7.315×10~(-4) Ω·cm, 方块电阻为6.1 Ω/□, 可见光区平均透过率达到82%, 波长为550 nm处的透过率为87%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刁训刚	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	55	359	10.0	16.0
2	顾宝霞	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	7	39	5.0	6.0
3	王文文	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	20	103	5.0	9.0
4	曹晔	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	3	15	3.0	3.0
5	孟超	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	4	12	3.0	3.0
6	康明生		2	3	1.0	1.0