基于相位相关技术的MEMS旋转角度高分辨力测量

• 作者: 朱洪程 胡小唐 胡晓东 陈治
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 旋转角度 Radon 变换 相位相关
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1884-1889
• 页数: 6页
• 分类号: TN752.8|TB922
• 字数: 2416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.08.016

摘要

为实现MEMS微结构周期运动过程中各个时刻的旋转角度及其动态特性参数的高分辨力测量,针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,提出了一种基于相位相关技术与Radon变换技术相结合的旋转角度测量方法.该方法通过Radon变换将图像的空间坐标转换为极坐标的参数空间,使得空间坐标的旋转投影为参数坐标的平移运动,然后通过相位相关技术的亚像素运动估计算法,得到物体旋转角度的高分辨力测量结果.实验结果显示,用该方法测量旋转角度分辨力优于0.01°,表明该方法可以有效地减少由旋转产生的形变对测量结果的影响,提高测量结果的稳定性并减少测量误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	陈治	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	19	81	6.0	8.0
3	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0
4	朱洪程	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	15	1.0	1.0