PLD制备钛酸铅薄膜过程的RHEED分析

• 作者: 吴卫东 曹林洪 沈军 白黎 葛芳芳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸铅薄膜 脉冲激光沉积 RHEED 生长模式
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 341-345
• 页数: 5页
• 分类号: T8115I|T7755
• 字数: 3434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.04.01

摘要

本文采用反射式高能电子衍射(RHEED)监测脉冲激光沉积法制备钛酸铅薄膜过程.根据PbTiO3/MgO(001)薄膜、PbTiO3/Si(100)薄膜生长过程中RHEED强度的时间演变,分析基片对薄膜生长模式的影响.并且观测不同生长时刻的RHEED强度的空间分布,讨论生长过程中薄膜表面的台阶尺寸变化.另外,比较在不同氧分压下沉积的钛酸铅薄膜表面的RHEED图案,发现氧气将改变薄膜的微结构,提高薄膜的结晶性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈军	同济大学物理系	199	2285	26.0	36.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	葛芳芳	同济大学物理系	7	9	2.0	2.0
5	曹林洪	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	7	2.0	2.0
6	白黎	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	19	2.0	4.0