VO2薄膜的制备及表征

• 作者: 王燕 黄维刚
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 VO2薄膜 综述 制备方法 表征
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.91
• 字数: 3646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.02.022

摘要

综述了目前VO2薄膜主要的制备方法(sol-gel法,蒸发法,脉冲激光沉积,溅射法和CVD)及其优缺点;以及X射线技术、光电子能谱、光谱技术、显微技术等表征手段在VO2薄膜研究中的应用.如何方便地获得准确化学计量的VO2,获得结晶性好的薄膜结构以及与基体间具有良好结合力的制备方法,是今后关注的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王燕	四川大学材料科学与工程学院	56	280	8.0	16.0
2	黄维刚	四川大学材料科学与工程学院	56	381	12.0	17.0