Si纳米线的气-液-固生长与结构表征

• 作者: 彭英才 白振华 程旭 范志东
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: Si纳米线 Au催化 气-液-固生长 结构表征
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 582-586
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 2169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2009.06.007

摘要

以Au膜作金属催化剂、SiH4作为源气体,基于气-液-固(VLS)生长机制在n-Si(111)单晶衬底上制备出了Si纳米线.利用扫描电子显微镜对样品进行了结构表征,Si纳米线的直径为20～200 nm、长度为数微米到数十微米,X射线能量损失谱分析表明所制备的Si纳米线中含有少量的Au元素.讨论了生长温度、SiH_4流量、Au膜层厚度和生长时间对Si纳米线的形成与结构的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭英才	河北大学电子信息工程学院	103	593	12.0	19.0
2	范志东	河北大学电子信息工程学院	14	41	4.0	6.0
3	程旭	河北大学电子信息工程学院	4	0	0.0	0.0
4	白振华	河北大学电子信息工程学院	5	14	2.0	3.0