微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究

• 作者: 丁桂甫 刘瑞 李雪萍 汪红
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 力传感器 ANSYS 微弹簧
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 914-918
• 页数: 5页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2009.06.010

摘要

研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器.在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器.根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA(Ultraviolet Lithographie GalVanoformung Abformung)技术制备出微弹簧力传感器,并在自制装置上进行标定.标定结果表明,由负胶工艺制备的自由式微弹簧力传感器有良好的线性,而且与Ansys模拟的弹性系数结果一致,为微拉伸测试系统提供良好的条件.