射频感性耦合等离子体中的受迫振荡研究

• 作者: 丁振峰 孙景超
• 来源期刊: 沈阳航空工业学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频感性耦合等离子体 受迫振荡 模式转化
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 计算机与通信工程
• 页码范围: 79-84
• 页数: 6页
• 分类号: O531
• 字数: 3509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1248.2009.01.022

摘要

实验研究了匹配状态、放电气压对氩气射频感性耦合等离子体中受迫振荡的影响.结果表明:受迫振荡总是出现在放电的正反馈区;在高气压下(>30Pa)受迫振荡的频率较低.对于使用射频感性耦合等离子体进行薄膜沉积的参数选择给予了理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙景超	沈阳航空工业学院理学院	5	2	1.0	1.0
2	丁振峰	大连理工大学三束实验室	13	32	4.0	4.0