NiO removal of Ni/Au Ohmic contact to p-GaN after annealing

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篇名	NiO removal of Ni/Au Ohmic contact to p-GaN after annealing
来源期刊	半导体学报	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2009,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	101-104
页数	4页	分类号	TN3
字数		语种	中文
DOI	10.1088/1674-4926/30/2/026001