一种新型三维表面形貌测量仪的研制及应用

• 作者: 王淑珍 谢铁邦
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌测量仪 微位移传感器 直线相位光栅干涉 X-Y二维工作台 平行弹簧
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 开发应用
• 页码范围: 84-86,89
• 页数: 4页
• 分类号: TG84
• 字数: 2363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2009.05.023

摘要

介绍了一种新型的基于直线相位光栅干涉三维表面形貌测量仪,该测量仪具有高分辨率、大量程、低成本的特点.该三维表面形貌测量仪由基于直线相位衍射光栅干涉原理的微位移传感器、X-Y二维工作台、立柱、光电探测器以及信号处理电路、计算机及数据处理软件组成.该轮廓仪工作台的工作范围为50 mm×50 mm,最小步距为0.2μm,工作台计量系统的分辨率为0.05μm,微位移传感器理论垂直分辨率可达到0.12 nm,实际测量量程为2 mm,通过更换测杆可以达到6 mm的测量量程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械科学与工程学院	92	848	17.0	24.0
2	王淑珍	华中科技大学机械科学与工程学院	13	70	4.0	8.0