基于硅微控阀门的气压控制器的设计

• 作者: 周德海 崔保健
• 来源期刊: 液压气动与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 压力控制 阀门 微机电
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TP137.5
• 字数: 1948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0813.2009.03.004

摘要

本文针对硅微控阀门的特性,提出了一种新的气体压力控制方法,设计了基于微机电硅微控阀门的气体压力控制系统,对系统的传感器调理电路、控制电路进行了设计,解决了小压力和低流量时的压力精密控制问题.该系统压力输出的范围为0-110kPa,不确定度为0.1%FS,气体压力控制稳定性达到了0.01%.可广泛用于模拟和数字压力计和航空气压仪表的校准检定.