金属硅的酸洗和氧化提纯

• 作者: 吴正云 庞爱锁 潘淼 郭生士 陈朝
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 金属硅 酸洗 氧化 除硼 提纯
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 543-546
• 页数: 4页
• 分类号: TF114
• 字数: 3082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2009.04.019

摘要

为了降低金属硅酸洗的后续工艺难度,在成熟的常温酸洗技术的基础上加上湿氧氧化新技术对金属硅进行提纯.酸洗主要作用是去除大部分裸露在金属硅颗粒表面的金属杂质;而湿氧氧化后,使颗粒内部分凝系数(在硅和二氧化硅系统中的分凝系数)较小的硼在高温下扩散进入二氧化硅中,再腐蚀去除氧化层和其中的杂质.实验表明该方法对硼杂质有明显的提纯作用,提纯后,硼杂质的含量最低为4×10-6.两种技术在工艺上兼容,在提纯目标上互补,是非常有效的低能耗和低成本的提纯方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈朝	厦门大学物理与机电工程学院	63	420	11.0	18.0
2	吴正云	厦门大学物理与机电工程学院	33	190	7.0	12.0
3	潘淼	厦门大学物理与机电工程学院	7	72	3.0	7.0
4	庞爱锁	厦门大学物理与机电工程学院	5	63	2.0	5.0
5	郭生士	厦门大学物理与机电工程学院	2	28	1.0	2.0