快速前处理TFA-MOD制备YBCO超导薄膜的研究

• 作者: 丁灵效 熊杰 陈文祥 陶伯万
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 物理学
• 关键词: YBCO TFA-MOD 快速前处理
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 28-32
• 页数: 5页
• 分类号: O51
• 字数: 2886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2009.04.008

摘要

三氟乙酸盐金属有机物沉积(TFA-MOD)方法是制备YBa2Cu3O7(YBCO)超导薄膜最有应用前景的方法之一.采用快速前处理TFA-MOD的方法在LaAlO3单晶基片上生长YBCO薄膜并与常规的TFA-MOD方法进行对比研究.XRD分析表明用快速前处理TFA-MOD方法制备的YBCO薄膜的c轴取向一致性,没有常规的TFA-MOD制备的YBCO薄膜好.SEM的分析表明快速前处理TFA-MOD制备的YBCO超导薄膜表面有孔洞和YBCO(103)取向生长的晶粒,常规方法制备的YBCO薄膜表面比较光滑,孔洞较少.虽然较常规方法制备的薄膜的临界电流密度(JC)低,但超导电性能分析表明,快速前处理方法制备的YBCO薄膜JC达到1mA/cm2以上,且前处理时间大幅缩短,对于提高YBCO薄膜制备的效率非常有效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊杰	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	41	205	6.0	12.0
2	陶伯万	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	39	165	5.0	10.0
3	丁灵效	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	5	1.0	1.0
4	陈文祥	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	17	2.0	2.0