GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟

• 作者: 朱彬 杨晓红 秦龙 鞠研玲 韩勤
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微光电机械系统 密集波分复用 调谐范围 滤波器
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 187-190
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学一机械模型对GaAs基1.55 μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究.结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHZ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩勤	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	24	164	7.0	12.0
2	杨晓红	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	33	182	8.0	12.0
3	朱彬	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	9	79	5.0	8.0
4	秦龙	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	鞠研玲	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	1	0	0.0	0.0