烧结温度对SrTiO3厚膜氧敏元件的影响研究

• 作者: 周媛 曹全喜 田森 郭明光
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶 氧传感器 烧结温度
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 光电·材料
• 页码范围: 85-87
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7820.2009.11.023

摘要

以固相合成法,在1 200 ℃,1 250 ℃,1 275 ℃这3个烧结温度下,制备了SrTiO3厚膜氧敏元件.通过在600～850 ℃温度范围内分别测试样品,在大气气氛及N2气氛下的电阻,比较分析了不同烧结温度下样品的灵敏度及阻温特性,表明最佳烧结温度应在1 250 ℃,且较高烧结温度有利于样品电阻的降低和阻温特性的改善.XRD分析和SEM分析表明,不同烧结温度均制备了物相纯净且表面结构疏松的样品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹全喜	西安电子科技大学技术物理学院	92	638	13.0	21.0
2	郭明光	西安电子科技大学技术物理学院	3	3	1.0	1.0
3	田森	西安电子科技大学技术物理学院	4	7	1.0	2.0
4	周媛	西安电子科技大学技术物理学院	2	1	1.0	1.0