MgO(100)衬底上生长BaTi2O5薄膜及其性能研究

• 作者: 张联盟 李凌 沈强 王传彬 王芳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: BaTi2O5薄膜 b轴取向 脉冲激光沉积 衬底温度 介电性能
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 920-923
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2236字
• 语种: 中文

摘要

利用脉冲激光沉积技术,在MgO(100)衬底上生长了BaTi2O5薄膜,探讨了沉积条件(衬底温度和氧分压)对薄膜结构的影响,并对其介电和光学性能进行了研究.结果表明:随衬底温度和氧分压的改变,BaTi2O5薄膜的物相和结晶取向逐渐变化;适宜的脉冲激光沉积工艺为衬底温度950~1000 K、氧分压12.5 Pa,在该条件下获得了b轴方向择优生长的BaTi2O5薄膜;该薄膜具有较高的居里温度(750 K),介电常数达2000,而且在可见光和红外波长范围内具有较高的透过率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张联盟	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	249	2664	24.0	41.0
2	沈强	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	131	858	14.0	24.0
3	王芳	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	35	310	8.0	17.0
4	李凌	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	13	120	5.0	10.0
5	王传彬	武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室	51	285	9.0	15.0