基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法

• 作者: 侯明阳 张杰 艾兵 郑燕 郑英
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 关键词: 批间控制 指数加权移动平均 折扣因子 基于产品的控制
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 短文
• 页码范围: 1137-1142
• 页数: 6页
• 分类号: TP29
• 语种: 中文

摘要

批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average.EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样的特点,引入了基于产品的变折扣因子EWMA控制算法,解决了产品切换时制程输出收敛速度过慢的问题.变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率而并不影响制程输出的稳定性.对实际过程的模拟仿真检验了该控制算法的可行性和优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张杰	华中科技大学控制科学与工程系	130	1251	19.0	29.0
2	郑燕	华中科技大学控制科学与工程系	6	73	5.0	6.0
3	郑英	华中科技大学控制科学与工程系	24	473	10.0	21.0
4	艾兵	华中科技大学控制科学与工程系	2	3	1.0	1.0
5	侯明阳	华中科技大学控制科学与工程系	1	3	1.0	1.0